所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規(guī)，一般前級真空一個，本底和工藝監(jiān)控各一個，如果進口的真空計，皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等，中國的真空設(shè)備廠家中，使用廣泛的進口真空測量產(chǎn)品是深圳市科銳詩汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空計及控制器。

但是困擾使用者的一個問題是英福康（INFICON）的真空計及控制器種類繁多，型號規(guī)格貌似沒有規(guī)律，很難記憶，今天我們就嘗試著解開這個困擾。

真空計從原理上劃分很多種類，還有一些復合真空計，從大類上就可以分十幾種，加上測量寬度和精度的不同排列組合，可以細分成幾十種，根據(jù)實際應(yīng)用可能會構(gòu)成多種選型，的確會讓不熟悉的人頭疼不已，不過，英福康（INFICON）的真空計的命名還是有規(guī)律可循的：

• 命名由三段組成：3個英文字母+3個阿拉伯數(shù)字+英文和數(shù)字的后綴
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• 以真空計的原理或原理命名者的英文單詞首字母組合來命名
• Capacitance Diaphragm Gauge）就是CDG
• 型真空計（Bayard Alpert Gauge）就是BAG
• Pirani Standard Gauge）就是PSG
• Vacuum Gauge Controller）就是VGC
•  兩種原理復合真空計以真空計的兩種原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

B-A 型皮拉尼真空計（Bayard-Alpert Pirani Gauge）就是BPG

• Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是PCG
• Magnetron Pirani Gauge）就是MPG

• 三種或以上原理復合真空計多以更重要的兩種原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

B-A 型皮拉尼電容膜片真空計（Bayard-Alpert Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是BCG

• 有特殊功能的真空計以該功能的英文單詞首字母+真空計的原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名
• High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge）就是HPG
• 增強型（Enhance）功能的真空計則往往把該英文單詞首字母放在后
• Pirani Gauge Enhanced）就是PGE
• 個別以真空計的原理或原理命名者的英文單詞只有一個，就用首兩個字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名
• Penning Gauge）就是PEG
• 第二段的三個數(shù)字和第三段的具體對應(yīng)什么細節(jié)/條件/功能就要查產(chǎn)品手冊了。