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瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應(yīng)用
瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應(yīng)用
更新時間：2016-09-26 點擊次數(shù)：1981
瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應(yīng)用
擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設(shè)定點
輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務(wù)，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是zui苛刻的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
化學(xué)和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
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