氦質譜檢漏小可檢漏率達5×10-12 Pa·m3/s，氦質譜檢漏的使用，使板翅式換熱器的檢漏由定性考察變成了定量分析，對板翅式換熱器的選用具有指導意義。

 

氦質譜檢漏常用的操作方法

 

　　板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機組。板翅式換熱器的氦質譜檢漏一般采用噴吹法和鐘罩法，如檢查內漏還可以采用吸入法進行檢漏。

 

1、噴吹法

 

　　該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統對其抽真空并達到真空銜接與質譜管溝通，然后用噴槍向可疑漏孔噴吹氦氣。當有漏孔存在時，氦氣就通過漏孔進入質譜管被檢測。

 

2、鐘罩法—測總漏率

 

　　將被檢件與儀器檢漏口聯接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，終達到質譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。

 

3、吸入法—檢測內漏

 

　　將被檢工件的一個通道內充氣設計壓力值大小的氦氣與氮氣混合氣，然后對與其相鄰的通道抽真空并與儀器檢漏口相連，如果存在內漏，另一通道內的氦氣會進入抽真空的通道，終達到質譜管被檢測。